ASML光刻机的作业原理及关键技术解析

发布时间：2024-01-07 04:18:36 作者：92993环球直播网

的——首先是激光器发光，通过纠正、能量控制器、光束成型设备等之后进入光掩膜台，上面放的就规划公

，咱们称之为微影制程，原理是将高能雷射光穿过光罩（reticle），将光罩上的电路图形透过聚光镜（projectionlens），将印象缩小

制作难度有多大？ /

的开展状况 /

，半导体或遭断链危机，摩尔定律将中止，人类也就无法规划、制作和封装硅芯片。放眼全球，一家叫做

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